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液体颗粒计数器判定电子级硫酸等级的应用
2024-04-01 13:56:58 来源:普洛帝液体颗粒计数器判定电子级硫酸等级的应用
1、电子级硫酸作用:强酸性清洗、腐蚀剂,在集成电路制程应用*多。
2、电子级硫酸判定指标:金属杂质、控制粒径、颗粒数、IC线宽;
3、检测仪器:四个判定指标中粒径的大小和数量的多少用液体颗粒计数器来检测。
4、仪器原理:液体颗粒计数采用光散射原理,当粒子通过光敏感区的时候发生散射,利用散射光采集装置收集粒子散射光强,并通过处理电路进行波形调整,*后用单片机来处理采集到的数据。
5、PMT-2 液体颗粒计数器:是普洛帝测控独立研发、生产、销售、售后的颗粒管控仪器。防腐型主要应用于电子湿化学品的单酸碱、混合溶液、溶剂类的高纯试剂的颗粒度检测。通过颗粒的大小和数量的多少来判定电子级湿化学品的等级。
6、检测过程:用PMT-2 液体颗粒计数器,检测4种不同纯度的电子级硫酸。检测数据备用。
7、电子化学品SEMI国际标准等级表等级 IC线宽 金属杂质 控制粒径 颗粒(个/mL) 应用 C1(G1) >1.2 ≤1000(1ppm) ≤1.0 ≤25 分立器件、太阳能电池 C7(G2) 0.8~1.2 ≤10(10ppb) ≤0.5 ≤25 显示面板 C8(G3) 0.2~0.6 ≤1.0(1ppb) ≤0.5 ≤3 大规模集成电源(IC)、
超高清LCD、OLED显示面板C12(G4) 0.09~0.2 ≤0.1(0.1ppb) ≤0.2 超大规模集成电路(IC)、超高清LCD、OLED显示面板 (G5) <0.09 ≤0.01 双方协商 双方协商 超大规模集成电路(IC)
8、注意事项:
仪器放置到十级清洁台内,减少空气中大颗粒进入液样造成的二次污染。
在使用前应对仪器进行校准,以确保检测结果的准确性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的颗粒进入检测液样。
操作人员要穿戴洁净工作服,戴洁净手套、口罩进行整个测样过程。
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