基于空气粒子计数器的洁净室实时颗粒管控技术方案

一、技术选型与标准适配

1. 粒径范围
   1. 需覆盖0.1μm~10μm的颗粒检测，半导体/医药行业需重点关注0.3μm~5μm的敏感粒径。
   2. 激光粒子计数器（如0.1μm分辨率）适用于高精度场景，光散射法传感器适合成本敏感型应用。
2. 流量选择
   1. 大流量（28.3L/min）适用于快速扫描，小流量（2.83L/min）适合高精度区域监测。
3. 合规性
   1. 设备需符合ISO 14644-1、GMP等标准，校准需遵循JJF1190-2008规范。

二、实时监测系统架构

1. 硬件组成
   1. 粒子计数器（多测点布局）、浮游菌采样器（制药行业）、温湿度传感器。
   2. 数据采集模块支持Modbus/RS485协议，实现设备互联。
2. 软件功能
   1. 动态阈值预警（如ISO 5级超标自动报警）、数据可视化看板、历史趋势分析。
   2. 支持与FFU风机、HVAC系统联动，实现净化强度自动调节。

三、行业差异化方案

四、实施关键步骤

1. 测点布置
   1. 层流室≥20个测点，乱流室每50㎡设5个，高度1m（参考ISO 14644-2）。
2. 状态区分
   1. 动态检测数据（生产状态下）比空态/静态更具实际参考价值。
3. 维护校准
   1. 每6个月校准激光光源，定期清洁采样口避免堵塞。

五、数据管理与扩展功能

1. 数据存储与分析
   1. 采用云端存储技术，确保数据的安全性和可追溯性。
   2. 通过高级分析工具，识别颗粒物来源和趋势，优化管控策略。
2. 扩展功能
   1. 集成AI算法，预测潜在污染事件，提前采取预防措施。
   2. 支持移动端访问，实现远程监控和管理。