扫一扫，手机浏览
- 在线研磨液液体颗粒计数器
详细信息
品牌：普洛帝 加工定制：是 型号：PLD-FX-801 类型：激光 测量范围：0.5-100.0 um 测量准确度：5 % 测量重复性：5 % 测量时间：60 s 产品介绍
商用集成电路的制造关键取决于通过化学机械平坦化(CMP)将硅晶片表面抛光至接近原子平坦度的磨料浆料颗粒的物理和化学性质。磨料浆料(Slurry)中含有相对较少>1.0μm的颗粒(如二氧化硅、氧化铝)，这些颗粒可能会在晶圆表面平坦化处理的时候造成微划伤。因此，磨料浆料(Slurry)颗粒的大颗粒计数(LPC) 是CMP艺中的关键因素。
PLD-FX-801液体颗粒计数器基于光散射法和光阻法双模式的检测原理，采用普洛帝核心技术第八代双激光窄光颗粒检测传感器，双精准流量控制和在离线自动稀释系统，可以用于评估研磨液中的不良颗粒以及这些颗粒的浓度。PLD-FX-801 液体颗粒计数器可以有效帮助我们确认系统中的颗粒污染源，评估过滤的有效性以及减少选些不良颗粒带来的风险。
检测原理
待测液体流过流通池，流通池两侧装有光学玻璃，激光器的光束通过透镜组准直，光東穿过流通池，照射在光陷阱上。若待测液体中没有颗粒，则光电探测器接收不到光信号，若液体中有颗粒，颗粒通过流通池，与激光光東发生遮挡或者散射现象。某- 一个(或几个)角度下的遮挡和散射信号通过透镜收集汇聚到光电探测器上，产生正的电信号脉冲，脉冲信号的幅度和光强成正比。根据信号的幅度和个数可以对液体中的微小颗粒进行计数检测。
光阻法主要检测2 u m以上的较大颗粒，光散射法主要检测2μm以下的颗粒。两种模的巧妙融合检测让颗粒的探测范围更加宽广且精度更高，让颗粒无处遁形。
典型应用
应用于CMP POU 供应前段一供给设备的Final out 处检测出Slurry内的引起scratch & defect 的LargeParticle，从而预防事故的发生；
应用于检测区分Slurry good/bad test ，good/bad slurry, 在供给端分析而预防事故的发生；
应用于电子半导体行业纯水中颗粒监测分析；
应用于电子半导体行业电子化学品中颗粒监测分析；
性能特点
0.5-100 um的标准颗粒尺寸，超宽广的颗粒监测范围；精确的流量控制，让监测数据更加恒定和稳定；
在离线自动稀释系统，适合超高浓度粒子；
高流速保证了快速的清洗时间和系统洁净度；
仪器一体化设计故障率，保证了低维护成本；
乳胶球校准，可追溯至NIST标准；
实时观察研磨浆料中颗粒的粒径大小、数量和趋势分析；
灵活设置限值报警，动态变化响应快；
可选配灵活通讯方式，实现工厂现代化管理。
技术参数
订制要求：各类液体检测要求；
传感器：第八代双激光窄光检测器；
测试软件：V8.3分析测试软件集成版&PC版；
测试标定：JJG1061或乳胶球或ISO21501；
操作方式：彩色液晶触摸屏操作&无线键鼠组合；
检测范围：0.5-100.0um；
特殊检测：自定义1~100μm或者4~70µm（c）微粒，0.1μm或者0.1µm（c）任意检测；
取样方式：精准计量泵；
进样精度：<±1%
精确度：<±3%典型值；
重合精度：1000粒/mL（2.5%重合误差）；
模拟输出：4mA～20mA接口；并带超标报警功能（可定制）；
报告方法：颗粒数/ml及污染度等级；
输入电压：100V～265V,50Hz～60Hz；
售后服务：普洛帝服务中心/中特计量检测研究院。 -
-
产品搜索
-
产品分类
-
颗粒计数器
-
颗粒度清洁取样瓶
-
油液取样器
-
激光粒子计数器
-
采样器
-
化学品，标准品
-
玻璃瓶
-
高清洁石油醚
-
仪器配套
-
标准物质
-
分析仪器
- 国标十六烷值分析仪
- 三脚架支撑康氏残碳测定器
- 全自动开口闪点测定器
- 闭口闪点测定器
- 全自动微量水分测定器
- 超越型粘度分析仪
- 全自动倾点测定器
- 精确石油产品密度计算器
- 数显倾点凝点测定器
- 石油产品凝固点测定器
- 大功率机械杂质测定器
- 石油产品凝点测定器
- 全自动凝点测定器
- 数字温控粘度测定器
- 数显倾点测定器
- 单片机万次剪切试验器
- 石油产品闪点燃点测定器
- 滑脂抗水淋性能度测定器
- 润滑油破乳化值测定器
- 润滑油氧化安定性测定器
- 数显锥入度测定器
- 液体石油产品烃类测定器
- 石油产品蒸馏测定器
- 冷轧钢板水溶性酸碱试验器
- 润滑油锈蚀测定器
- 石油产品运动粘度测定器
- 润滑脂滴点测定器
- 液化石油气蒸汽压测定器
- 液化石油气密度测定器
- 自动控制铜片腐蚀测定器
- 人工智能残留物测定器
- 油品色度测定器
- 石油产品灰分测定器
- 石油产品苯胺点测定器
-
石油密度计
-
隔膜真空泵
-
手持式便携折光仪
-
石油仪器专用温度计
-
清洁过滤装置
-
石油分析仪器
-
油料多元素光谱分析仪
-
超纯水颗粒计数器
-
微孔滤膜
-
超声波振荡器
-
氧含量分析仪
-
环保性清洗剂
-
电子级清洁管控系统
-
密度计
-
空气粒子计数器
-
药典不溶性微粒检测仪
-
液体激光粒子计数器
-
液体颗粒计数器
-
电子样本
