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采用液体颗粒计数器分析磷酸里悬浮粒子大小和浓度
2024-04-15 11:44:43 来源:普洛帝
2.判定标准:参照SEMI电子化学品国际标准等级表
3.检测仪器:液体颗粒计数器,采用光散射法原理。当磷酸里的悬浮粒子通过流通池,激光光束照射到粒子上,经由处理器将收集到的信息转化为粒径大小和数量的信号。进行输出,通过粒子大小和浓度来判定磷酸的电子级等级属于哪个级别。
4.检测液样:普通磷酸、电子级磷酸。
5.检测步骤:用电子级取样瓶取适量普通纯度的磷酸;
用超声波去除磷酸里的气泡;
将处理好的磷酸放置于液体颗粒计数器进样端;
操作电脑,设置检测时间间隔,开始检测。
6.结果及数据分析:
从上结果可以看出,样品磷酸尚未达到电子级磷酸的标准。提示磷酸生产工艺需要进行该井。
7.注意事项:
样品取样瓶洁净度一定要达到电子级别,减少液样的二次污染。
仪器是校准后的仪器,一定要将仪器放置于百级及以上洁净环境里进行检测。
操作人员严格对自己进行洁净吹扫,穿洁净服,按照规定严格操作仪器测样的流程。
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